Quá trình tinh chế Tellurium 7N kết hợp tinh chỉnh zone và các công nghệ kết tinh hướng. Chi tiết quy trình chính và các tham số được nêu dưới đây:
1. Quá trình tinh chế khu vực
Thiết kế equipment
Thuyền tan chảy khu vực hình khuyên của lớp mululti
Hệ thống nhiệt độ : Các cuộn dây điện trở bán vòng với độ chính xác kiểm soát nhiệt độ là ± 0,5 ° C và nhiệt độ hoạt động tối đa là 850 ° C.
Key tham số
VACUUM: ≤1 × 10⁻³ PA trong suốt để ngăn ngừa quá trình oxy hóa và ô nhiễm.
Tốc độ di chuyển zone : 2 trận5 mm/h (xoay đơn hướng qua trục truyền động).
Độ dốc nhiệt độ : 725 ± 5 ° C ở mặt trước khu vực nóng chảy, làm mát đến <500 ° C ở cạnh kéo.
Passes: 10 chu kỳ1515; Hiệu quả loại bỏ> 99,9% cho các tạp chất có hệ số phân biệt <0,1 (ví dụ: Cu, PB).
2. Quá trình kết tinh định hướng
Melt Chuẩn bị
Vật liệu : 5n Tellurium được tinh chế thông qua tinh chế khu vực.
Điều kiện phân tích
Bảo vệ melt: Vỏ than chì tinh khiết cao để ngăn chặn sự bay hơi; Độ sâu của hồ bơi nóng chảy duy trì ở 80 trận120 mm.
Kiểm soát toàn tinh thể
Tốc độ phát triển
Hệ thống phân phối: cơ sở đồng làm mát bằng nước để làm mát đáy bắt buộc; Làm mát bức xạ ở đầu.
Sự phân tách an toàn : Fe, Ni và các tạp chất khác được làm giàu ở ranh giới hạt sau 3 chu kỳ làm lại, giảm nồng độ xuống mức PPB.
3. Kiểm soát chất lượng số liệu
Tham chiếu tham chiếu giá trị tiêu chuẩn
Độ tinh khiết cuối cùng ≥99,9999% (7N)
Tổng số tạp chất kim loại ≤0,1 ppm
Hàm lượng oxy ≤5 ppm
Độ lệch hướng tinh thể ≤2 °
Điện trở suất (300 K) 0,1
Ưu điểm của quá trình
Khả năng Scalability: Thuyền tan chảy vùng hình khuyên nhiều lớp tăng công suất hàng loạt lên 3 355 × so với các thiết kế thông thường.
Hiệu quả: Điều khiển chân không và điều khiển nhiệt chính xác cho phép giảm tốc độ loại bỏ tạp chất cao.
Chất lượng tinh thể: tốc độ tăng trưởng siêu chậm (<3 mm/h) đảm bảo mật độ trật khớp thấp và tính toàn vẹn đơn tinh thể.
Tellurium 7N tinh chế này rất quan trọng đối với các ứng dụng tiên tiến, bao gồm các máy dò hồng ngoại, pin mặt trời màng mỏng CDTE và chất nền bán dẫn.
References:
biểu thị dữ liệu thử nghiệm từ các nghiên cứu được đánh giá ngang hàng về tinh chế Tellurium.
Thời gian đăng: Mar-24-2025