7n telluratatsiya jarayoni zonani qayta ishlash va yo'naltirish kristallanish texnologiyalarini birlashtiradi. Asosiy jarayon tafsilotlari va parametrlari quyida keltirilgan:
1. Zonalarni qayta ishlash jarayoni
Uskunalar dizayni
Ko'p qavatli yumaloq zonasi Eritilgan qayiqlar: diametri 300-500 mm, balandligi 50-80 mm yuqori toza kvarts yoki grafitdan tayyorlangan.
Isitish tizimi: haroratni boshqarishning to'g'riligi ± 0,5 ° C va 850 ° C haroratli yarim tobora.
Kerakli parametrlar
Vakuum: Oksidlanish va ifloslanishni oldini olish uchun the ≤ 10 ta pa.
Zonaviy sayohat tezligi: 2-5 mm / D drayverli mil.
Haroratning grasi: 725 ± 5 ° C, eritilgan zonada, <500 ° C gacha sovutish.
O'yadi: 10-15 tsikl; Segratura koeffitsientlari bilan olib tashlash samaradorligi> 0.1 (masalan, Cu, Pb).
2. Yo'nalish kristallanish jarayoni
Eritma tayyorlash
Material: Zonaviy qayta ishlash orqali tozalash:
Eritilgan shartlar: Inert Ar Ar G gazasi (poklik) ostida yuqori chastotali indüksiyani isitish orqali 500-520 ° C da eritiladi.
Eritma himoyasi: o'zgaruvchanlikni bostirish uchun yuqori toza grafit qoplami; Eritilgan basseyn chuqurligi 80-120 mm atrofida saqlanadi.
Kristallanishni boshqarish
O'sish sur'ati: 1-3 mm / soat vertikal haroratni 30-50 ° C / sm.
Sovutish tizimi: majburiy quyish uchun suv bilan sovutilgan mislar bazasi; yuqori qismida radiatsion sovutish.
Nopoklik taqsimlash: Fe, Ni va boshqa nopokliklar 3-5 tralli tsikllardan keyin g'alla chegaralarida boyitilgan, PXB darajasiga qisqartirish.
3. Sifatni boshqarish MARKIKALAR
Parametr standart qiymat havolasi
Yakuniy tozalik ≥99999% (7N)
Umumiy metall aralashmalari ≤0.1 PPM
Kislorod tarkibi ≤5 ppm
Kristal tomonga yo'naltirish ≤2 °
Qarshoqlik (300 k) 0.1-0.3 Ō · skm
Jarayon afzalliklari
Shonuvchanlik: Ko'p qavatli yumaloq zonaning erishigan qayiqlarni 3-5 × Oddiy dizaynlar bilan taqqoslaganda partiya hajmini 3-5 ×ga oshiradi.
Samaradorlik: Vakuum va issiqlik nazorati yuqori nopoklikni olib tashlash stavkalarini yaratishga imkon beradi.
Kristal sifati: ultra-sekin o'sish sur'atlari (<3 mm / h) disloklash zichligi va bitta kristalli yaxlitlikni ta'minlaydi.
Tuzatilgan 7n tellurium ilg'or arizalar, shu jumladan infraqizim detektorlari, CDE yupqa plyonkalari va yarimo'tkazgich substratlari uchun eng muhim dasturlar uchun juda muhimdir.
Adabiyotlar:
Tushuriya tozalash bo'yicha tengdosh tadqiqlaridan tajriba ma'lumotlarini bildiradi.
O'tish vaqti: Mar-24-2025