7 این ٹیلوریم طہارت کے عمل میں زون ریفائننگ اور سمتل کرسٹاللائزیشن ٹیکنالوجیز کو یکجا کیا گیا ہے۔ کلیدی عمل کی تفصیلات اور پیرامیٹرز ذیل میں بیان کیے گئے ہیں:
1. زون کو بہتر بنانے کا عمل
eace ایکوئپمنٹ ڈیزائن
mul ملٹی لیئر کنڈولر زون پگھلنے والی کشتیاں: قطر 300–500 ملی میٹر ، اونچائی 50–80 ملی میٹر ، اعلی طہارت کوارٹج یا گریفائٹ سے بنا ہے۔
hateing نظام : درجہ حرارت پر قابو پانے کی درستگی کے ساتھ نیم سرکلر مزاحم کنڈلی ± 0.5 ° C اور زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت 850 ° C ہے۔
کلیدی پیرامیٹرز
آکسیکرن اور آلودگی کو روکنے کے لئے vavacuum: ≤1 × 10⁻<
زون ٹریول اسپیڈ: 2-5 ملی میٹر/گھنٹہ (ڈرائیو شافٹ کے ذریعے غیر سمتاتی گردش)۔
mal تیمپریٹری گریڈینٹ : پگھلے ہوئے زون کے محاذ پر 725 ± 5 ° C ، پچھلے کنارے پر <500 ° C پر ٹھنڈا ہوتا ہے۔
پاسس: 10-15 سائیکل ؛ ہٹانے کی کارکردگی> علیحدگی کے گتانک <0.1 (جیسے ، کیو ، پی بی) کے ساتھ نجاست کے لئے 99.9 ٪۔
2. دشاتمک کرسٹاللائزیشن عمل
mal میل کی تیاری
materatory: 5N ٹیلوریم زون ریفائننگ کے ذریعے صاف کیا گیا۔
stums میلٹنگ کے حالات: اعلی تعدد انڈکشن ہیٹنگ کا استعمال کرتے ہوئے 500–520 ° C پر غیر فعال اے آر گیس (≥99.999 ٪ طہارت) کے تحت پگھلا ہوا۔
male میلٹ پروٹیکشن: اتار چڑھاؤ کو دبانے کے لئے اعلی طہارت گریفائٹ کور ؛ پگھلا ہوا پول کی گہرائی 80-120 ملی میٹر پر برقرار ہے۔
crycrystallization کنٹرول
growrowth شرح شرح: 1–3 ملی میٹر/گھنٹہ 30-50 ° C/سینٹی میٹر کے عمودی درجہ حرارت کا میلان کے ساتھ۔
cool کولنگ سسٹم: جبری نیچے ٹھنڈک کے لئے پانی سے ٹھنڈا تانبے کا اڈہ۔ سب سے اوپر پر ریڈی ایٹو کولنگ۔
imp امپیریٹی علیحدگی: فی ، نی ، اور دیگر نجاستوں کو اناج کی حدود میں 3-5 ریمیلیٹنگ سائیکلوں کے بعد افزودہ کیا جاتا ہے ، جس سے پی پی بی کی سطح میں حراستی کم ہوتی ہے۔
3. کوالٹی کنٹرول میٹرکس
پیرامیٹر معیاری قدر کا حوالہ
حتمی طہارت ≥99.99999 ٪ (7n)
کل دھاتی نجاست ≤0.1 پی پی ایم
آکسیجن مواد ≤5 پی پی ایم
کرسٹل واقفیت انحراف ≤2 °
مزاحمتی (300 K) 0.1–0.3 · · سینٹی میٹر
process فوائد کے فوائد
sc اسکیلیبلٹی : روایتی ڈیزائنوں کے مقابلے میں ملٹی لیئر کنڈولر زون پگھلنے والی کشتیاں بیچ کی گنجائش میں 3-5 × کا اضافہ کرتی ہیں۔
efficiency کارکردگی: عین مطابق ویکیوم اور تھرمل کنٹرول اعلی نجاست کو ہٹانے کی شرح کو قابل بناتا ہے۔
crycrystal کوالٹی: الٹرا سلو نمو کی شرح (<3 ملی میٹر/گھنٹہ) کم سندچیوتی کثافت اور سنگل کرسٹل سالمیت کو یقینی بنائیں۔
یہ بہتر 7N ٹیلوریم جدید ایپلی کیشنز کے لئے اہم ہے ، بشمول اورکت ڈیٹیکٹر ، سی ڈی ٹی ای پتلی فلم شمسی خلیات ، اور سیمیکمڈکٹر سبسٹریٹس۔
references ریفرنسس:
ٹیلوریم طہارت سے متعلق ہم مرتبہ جائزہ لینے والے مطالعات سے تجرباتی اعداد و شمار کی نشاندہی کریں۔
وقت کے بعد: MAR-24-2025