7n டெல்லூரியம் சுத்திகரிப்பு செயல்முறை zone சுத்திகரிப்பு மற்றும் திசை படிகமயமாக்கல் தொழில்நுட்பங்களை ஒருங்கிணைக்கிறது. முக்கிய செயல்முறை விவரங்கள் மற்றும் அளவுருக்கள் கீழே கோடிட்டுக் காட்டப்பட்டுள்ளன:
1. மண்டல சுத்திகரிப்பு செயல்முறை
Ecpipment வடிவமைப்பு
Multi- அடுக்கு வருடாந்திர மண்டலம் உருகும் போட்ஸ்: விட்டம் 300–500 மிமீ, உயரம் 50-80 மிமீ, உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் அல்லது கிராஃபைட்டால் ஆனது.
System வெப்ப அமைப்பு: ± 0.5 ° C வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் மற்றும் அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை 850 ° C உடன் அரை வட்ட எதிர்ப்பு சுருள்கள்.
அளவுருக்கள்
Vacuum: ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் மாசுபாட்டைத் தடுக்க ≤1 × 10⁻³ Pa முழுவதும்.
Esone பயண வேகம்: 2–5 மிமீ/மணி (டிரைவ் ஷாஃப்ட் வழியாக ஒரு திசை சுழற்சி).
வெப்பநிலை சாய்வு: உருகிய மண்டல முன்னணியில் 725 ± 5 ° C, பின்னால் விளிம்பில் <500 ° C க்கு குளிர்ச்சியடையுங்கள்.
Pass: 10–15 சுழற்சிகள்; அகற்றும் செயல்திறன்> பிரித்தல் குணகங்களுடன் அசுத்தங்களுக்கு 99.9% <0.1 (எ.கா., கியூ, பிபி).
2. திசை படிகமயமாக்கல் செயல்முறை
Met மெல்ட் தயாரிப்பு
Material: 5n டெல்லூரியம் மண்டல சுத்திகரிப்பு வழியாக சுத்திகரிக்கப்பட்டது.
Melting நிபந்தனைகள் : உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பத்தை பயன்படுத்தி 500–520 ° C வெப்பநிலையில் மந்த AR வாயு (≥99.999% தூய்மை) இன் கீழ் உருகியது.
Melt மெல்ட் பாதுகாப்பு: ஆவியாகும் தன்மையை அடக்க உயர் தூய்மை கிராஃபைட் கவர்; உருகிய பூல் ஆழம் 80-120 மி.மீ.
Crystallization கட்டுப்பாடு
வளர்ச்சி விகிதம்: 1–3 மிமீ/மணி 30-50 ° C/cm இன் செங்குத்து வெப்பநிலை சாய்வு.
CymolyColing System: கட்டாய கீழ் குளிரூட்டலுக்கான நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட செப்பு அடிப்படை; மேலே கதிர்வீச்சு குளிரூட்டல்.
Imputionation பிரித்தல் : Fe, Ni மற்றும் பிற அசுத்தங்கள் 3–5 சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு தானிய எல்லைகளில் செறிவூட்டப்படுகின்றன, செறிவுகளை பிபிபி அளவுகளுக்கு குறைக்கின்றன.
.3. தரக் கட்டுப்பாட்டு அளவீடுகள்
அளவுரு நிலையான மதிப்பு குறிப்பு
இறுதி தூய்மை ≥99.99999% (7n)
மொத்த உலோக அசுத்தங்கள் ≤0.1 பிபிஎம்
ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் ≤5 பிபிஎம்
படிக நோக்குநிலை விலகல் ≤2 °
எதிர்ப்பு (300 கே) 0.1–0.3 Ω · செ.மீ.
Process செயல்கள்
Scalability: வழக்கமான வடிவமைப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது மல்டி-லேயர் வருடாந்திர மண்டல உருகும் படகுகள் தொகுதி திறனை 3–5 by அதிகரிக்கின்றன.
செயல்திறன் : துல்லியமான வெற்றிடம் மற்றும் வெப்ப கட்டுப்பாடு அதிக தூய்மையற்ற அகற்றும் விகிதங்களை செயல்படுத்துகிறது.
Crystal grade : அல்ட்ரா-ஸ்லோ வளர்ச்சி விகிதங்கள் (<3 மிமீ/மணி) குறைந்த இடப்பெயர்வு அடர்த்தி மற்றும் ஒற்றை-படிக ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன.
அகச்சிவப்பு கண்டுபிடிப்பாளர்கள், சி.டி.டி மெல்லிய-திரைப்பட சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகள் உள்ளிட்ட மேம்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு இந்த சுத்திகரிக்கப்பட்ட 7N டெல்லூரியம் முக்கியமானது.
References:
டெல்லூரியம் சுத்திகரிப்பு குறித்த சக மதிப்பாய்வு செய்யப்பட்ட ஆய்வுகளிலிருந்து சோதனை தரவைக் குறிக்கவும்.
இடுகை நேரம்: மார்ச் -24-2025