1. breakthrows в подготовке материалов с высокой чистотой прочерином
Silicon Materials Чистота кремниевых монокристаллов превзошла 13N (99,999999999%) с использованием метода плавающей зоны (FZ), значительно повышая производительность высокопроизводительных полупроводниковых устройств (например, IGBT) и расширенных чипсов 45. Эта технология уменьшает загрязнение кислородом благодаря процессу без тигбла и интегрирует сердечно-сосудистые ССЗ и модифицированные методы Siemens для достижения эффективного производства полисиликона 47-х зон.
Germanium materials : Оптимизированная очистка плавления зоны повышает чистоту германия до 13N, с улучшенными коэффициентами распределения примесей, обеспечивая применение в инфракрасной оптике и детекторы радиации 23. Тем не менее, взаимодействие между расплавленными материалами Германия и оборудования при высоких температурах остается критической задачей 23.
2. innovations в процессе и оборудовании
Dynamic Параметр Управление параметрами: корректировки к скорости перемещения зоны, градиентам температуры и защитных газовых средах-связанные с мониторингом в реальном времени и автоматизированных системах обратной связи-повышают стабильность и повторяемость процесса при минимизации взаимодействий между германия/кремния и оборудования. 27.
Polysilicon Производство : новые масштабируемые методы для полисиликона в зоне, решают проблемы контроля содержания кислорода в традиционных процессах, снижение потребления энергии и повышение урожайности 47.
3. technology интеграция и междисциплинарные приложения
Гибридизация кристаллизации.
Semiconductors-полупроводники по третьей генерации: теперь плавление зоны применяется к материалам с широкополосом, таким как карбид карбида (sic) и gallium (GAN) , поддерживая высокочастотные и высокотемпературные устройства. Например, жидкость-фаза с мокристаллической печью обеспечивает стабильный рост кристаллов SIC посредством точного контроля температуры 15.
4. Сценарии приложения
Photovoltaics: полисиликон со счетом зоны используется в высокоэффективных солнечных элементах, достигая эффективности фотоэлектрического преобразования 26% и продвижение движения в возобновляемой энергии 4.
Infrarred and Detctor Technologies : Ультра-высокая трудовая Германия позволяет миниатюрную, высокопроизводительную инфракрасную визуализацию и устройства ночного вида для военных, охраны и гражданских рынков 23.
5. challenges и будущие направления
Impertion Limits Limits: современные методы борются с удалением примесей световых элементов (например, бор, фосфор), требуя новых процессов легирования или технологий управления зоной динамического расплава 25.
Equipment Длительность и энергоэффективность. Вакуумная дуга переворачивает (VAR) Технология показывает перспективу для уточнения металла 47.
Технология плавления зоны продвигается к более высокой чистоте, более низкой стоимости и более широкой применимости.
Пост времени: марта-26-2025