Procesul de purificare a teluriului 7N combină tehnologiile de rafinare a zonei și direcționale. Detaliile și parametrii cheie ale procesului sunt prezentate mai jos:
1. Proces de rafinare a zonei
Equipment Design
Multi Layer Anular Boats Melting: Diametru 300–500 mm, înălțime 50–80 mm, din cuarț sau grafit de înaltă puritate sau grafit.
Sistem de încălzire: bobine rezistive semicirculare cu precizie de control al temperaturii de ± 0,5 ° C și o temperatură maximă de funcționare de 850 ° C.
Key Parametri
Vacuum: ≤1 × 10⁻³ PA pe tot parcursul pentru a preveni oxidarea și contaminarea.
Zone Viteza de deplasare: 2–5 mm/h (rotație unidirecțională prin axul de antrenare).
Gradient de temperatură: 725 ± 5 ° C în fața zonei topite, răcire la <500 ° C la marginea de tracțiune.
Pass: 10-15 cicluri; Eficiență de îndepărtare> 99,9% pentru impuritățile cu coeficienți de segregare <0,1 (de exemplu, Cu, PB).
2. Proces de cristalizare direcțională
Pregătirea MELT
Material: 5n Tellurium purificat prin rafinarea zonei.
Condiții de vânzare: topit sub gaz AR inert (≥99,999% puritate) la 500–520 ° C folosind încălzirea cu inducție de înaltă frecvență.
PROTECȚIA MELT: capac de grafit de înaltă puritate pentru a suprima volatilizarea; Adâncimea piscinei topite menținute la 80-120 mm.
CONTROL DE CRISTALizare
Rata de creștere
System System de cooling: Baza de cupru răcită cu apă pentru răcirea forțată în fund; Răcire radiativă în partea de sus.
Segregation segregare: Fe, Ni și alte impurități sunt îmbogățite la limitele cerealelor după 3–5 cicluri de remelare, reducând concentrațiile la nivelurile PPB.
3. Metrice de control al calității
Parametrul valoarea standard referință
Puritatea finală ≥99.99999% (7N)
Impurități metalice totale ≤0.1 ppm
Conținut de oxigen ≤5 ppm
Abaterea orientării cristalului ≤2 °
Rezistivitate (300 K) 0,1–0,3 Ω · cm
Avantaje Process
Scalabilitatea: Barcile de topire a zonei inelare cu mai multe straturi cresc capacitatea de lot cu 3–5 × în comparație cu proiectele convenționale.
Eficiență: controlul precis de vid și termic permit rate de îndepărtare a impurității ridicate.
Calitatea cristalului
Acest rafinat 7n Tellurium este esențial pentru aplicațiile avansate, inclusiv detectoarele cu infraroșu, celulele solare cu film subțire CdTe și substraturile semiconductoare.
References:
Denumiți date experimentale din studiile revizuite de la egal la purificarea Tellurium.
Timpul post: 24-2025 martie