1.
Silicon pagrindu pagamintos medžiagos : Silicio pavienių kristalų grynumas pranoko 13N (99.9999999999%) Naudojant plūduriuojančios zonos (FZ) metodą, žymiai padidinant didelės galios puslaidininkių prietaisų (pvz. Ši technologija sumažina deguonies užteršimą per „Crucible Free“ procesą ir integruoja silano CVD ir modifikuotus „Siemens“ metodus, kad būtų galima efektyviai gaminti zonų tirpimo lygio polisilicon47 gamybą.
Germanium Medžiagos: Optimizuotas zonų lydymosi valymas padidino germanio grynumą iki 13N, su patobulintais priemaišų pasiskirstymo koeficientais, įgalinant pritaikymą infraraudonųjų spindulių ir radiacijos detektoriuose 23. Tačiau ištirpusių germanio ir įrangos medžiagų sąveika aukštoje temperatūroje išlieka kritiniu iššūkiu 23.
2.
Dinaminis parametrų valdymas: Lydymosi zonos judėjimo greičio, temperatūros gradientų ir apsauginės dujų aplinkos koregavimai-sujungta su realiojo laiko stebėjimo ir automatinėmis grįžtamojo ryšio sistemomis-padidina proceso stabilumą ir pakartojamumą, tuo pačiu sumažinant germanio/silicio ir įrangos sąveiką 27.
Policon Gamyba : Nauji zonų tirpimo lygio polisilicono keičiami metodai, skirti deguonies turinio kontrolės iššūkiams tradiciniuose procesuose, mažinant energijos suvartojimą ir padidinant derlių 47.
3. Technologijos integracija ir tarpdisciplininės programos
Melt kristalizacijos hibridizacija: Norint optimizuoti organinio junginių atskyrimą ir valymą, yra integruotos mažos energijos lydymosi kristalizacijos metodai, plečiant zonų lydymosi pritaikymą farmacijos tarpiniuose produktuose ir smulkiose chemikaluose 6.
Tirto kartos puslaidininkiai: Zonos lydymas dabar naudojamas plataus juostos medžiagoms, tokioms kaip Silicon karbidas (SIC) ir gallium nitrido (GAN) , palaikantys aukšto dažnio ir aukštos temperatūros prietaisus. Pavyzdžiui, skystos fazės vieno kristalo krosnies technologija įgalina stabilų sic kristalų augimą tikslioje temperatūros kontrolėje15.
4. Diversified Taikymo scenarijai
Photovoltacs: zonų tirpimo laipsnio polisilikonas naudojamas didelio efektyvumo saulės elementuose, siekiant fotoelektrinio konvertavimo efektyvumo-26% ir skatinant pažangą atsinaujinančioje energijoje4.
Frared ir Detector Technologies: ypač aukšto grynumo germanis įgalina miniatiūrinius, aukšto našumo infraraudonųjų spindulių vaizdų ir naktinio matymo prietaisus kariniams, saugumo ir civilinėms rinkoms .23.
5. Challenges ir ateities kryptys
PRAKTUMO REMINIMO RIBONOS: Dabartiniai metodai Kova su lengvųjų elementų priemaišų pašalinimu (pvz., Boro, fosforo), reikalingos naujiems dopingo procesams arba dinaminės lydymosi zonos kontrolės technologijoms 25.
Esquipment patvarumas ir energijos vartojimo efektyvumas : Tyrimai sutelkia dėmesį į atsparių, temperatūros, atsparių, korozijai atsparių tiglių medžiagų ir radijo dažnio šildymo sistemų, siekiant sumažinti energijos suvartojimą ir pratęsti įrangos gyvenimo trukmę. Vakuuminio lanko pakartotinis (VAR) technologija rodo pažadą metalo tobulinimui 47.
Zonų lydymosi technologija siekia aukštesnio grynumo, mažesnių išlaidų ir platesnio pritaikomumo, tvirtindama savo, kaip kertinio akmens puslaidininkių, atsinaujinančios energijos ir optoelektronikos, vaidmenį.
Pašto laikas: 2012 m. Kovo 26 d