7N Tellurium 정제 공정은 존 정제 와 방향 결정화 기술을 결합합니다. 주요 프로세스 세부 사항 및 매개 변수는 다음과 같습니다.
1. 구역 정제 프로세스
wequipment 설계 ment
Multi-Layer 육신 구역 용융 보트 : 직경 300–500mm, 높이 50–80 mm, 고순도 석영 또는 흑연으로 만들어졌습니다.
heating 시스템 : 온도 제어 정확도 ± 0.5 ° C 및 최대 작동 온도가 850 ° C 인 반원형 저항 코일.
키 매개 변수 et
산화 및 오염을 방지하기 위해 전반적으로 Vacuumu : ≤1 × 10 ³ PA.
존 여행 속도 : 2–5 mm/h (드라이브 샤프트를 통한 단방향 회전).
wemperature Gradient : 용융 구역 전면에서 725 ± 5 ° C, 후행 가장자리에서 <500 ° C로 냉각됩니다.
passes 10 : 10-15 사이클; 분리 계수 <0.1 (예 : Cu, PB)에 대한 불순물에 대한 제거 효율> 99.9%.
2. 방향 결정화 과정 ization
preparation 멜트
MATERIALIL : 5N Tellurium은 구역 정제를 통해 정제됩니다.
melting 조건 ting : 고주파 유도 가열을 사용하여 500-520 ° C에서 불활성 AR 가스 (≥99.999% 순도)에서 녹았습니다.
protection high-purity graphite 덮개가 휘발성을 억제합니다. 녹은 수영장 깊이는 80-120mm로 유지됩니다.
crystallization 컨트롤
수직 온도 구배가 30–50 ° C/cm의 성장 속도 : 1–3 mm/h.
Cooling 시스템 : 강제 바닥 냉각을위한 수냉식 구리베이스; 상단의 복사 냉각.
himpurity seggregationurity : Fe, Ni 및 기타 불순물은 3-5 개의 Remelting 사이클 후 입자 경계에서 풍부하여 PPB 수준으로 농도를 감소시킵니다.
3. 품질 관리 지표
매개 변수 표준 값 참조
최종 순도 ≥99.99999% (7N)
총 금속 불순물 ≤0.1 ppm
산소 함량 ≤5 ppm
결정 방향 편차 ≤2 °
저항 (300 K) 0.1–0.3 Ω · cm
process 이점
Scalibility : 다층 환형 구역 녹는 보트는 기존 설계에 비해 배치 용량을 3-5 x 씩 증가시킵니다.
효율 prec : 정확한 진공 및 열 제어는 높은 불순물 제거 속도를 가능하게합니다.
crystal 품질 ry : 초저 슬로우 성장률 (<3 mm/h)은 낮은 탈구 밀도와 단결정 무결성을 보장합니다.
이 정제 된 7N 텔 루륨은 적외선 검출기, CDTE 박막 태양 전지 및 반도체 기판을 포함한 고급 응용 분야에 중요합니다.
references :
Tellurium 정제에 대한 동료 검토 연구에서 실험 데이터를 나타냅니다.
시간 후 : 3 월 24 일