1. Жоғары тазалық материалдарды дайындаудағы жетістіктер
Кремний негізіндегі материалдар: кремнийдің бір кристалдарының тазалығы 3-тен (мысалы, 99,9999999%), қалқымалы аймақ (FZ) әдісі, жоғары қуатты жартылай өткізгіш құрылғылардың (мысалы, IGBTS) және жетілдірілген чипс45-ті едәуір жақсартады. Бұл технология оттегінің ластануын азайтады және креаналық CVD және Silane CVD және модификацияланған Siemens CVD және модификацияланған Siemens-ті модификацияланған әдістерді біріктіреді.
Неміс материалдары: оңтайландырылған аймақты ерітетін тазарту Өндіріс тазартқышы 13n-ге дейін немерке тазартады, инфрақызыл оптика және радиациялық детекторларда қосымшаларға қосылып, жақсартылған қоспалар. Алайда, балқытылған германий мен жабдықтардың жоғары температурада жасалған өзара әрекеттесуі маңызды сынаққа жатады.
2. Процесс және жабдықтардағы инновациялар
Динамикалық параметрлерді басқару: ерітінді аймағының қозғалыс жылдамдығы, температуралық градиенттер және нақты уақыттағы монтаждау және автоматтандырылған кері байланыс жүйелеріне қосылған, альзан / кремний мен жабдықтар арасындағы өзара әрекеттесуді азайту кезінде қайта құру және қайталануы 27.
Полисиликон өндірісі: Аймақтық балқыту цифрлық полисиликонның кеңейтілген әдістері.
3. Технологиялық интеграция және транзязиялық өтініштер
Балқытылған кристалдану будандастыру: аз энергияланған ерітіндісінің кристалдану әдістері органикалық қосылыстарды бөлуді және тазартуды оңтайландыру, фармацевтикалық аралық аралық делдалдар мен жұқа химикаттарда кеңейтілетін қосымшаларды кеңейтуге интеграциялануда.
Үшінші буынның жартылай өткізгіштері: аймақты ерітпені енді жоғары жиілікті және жоғары температуралы құрылғыларды қолдайтын кремний карбиді (SIC) және Gallium Nitride (GAN) сияқты кең жолақты материалдарға қолданылады. Мысалы, сұйық фазалық бір кристалды печенье технологиясы температураны дәл басқару арқылы тұрақты SIC Crystal өсуіне мүмкіндік береді15.
4. Әртараптандырылған өтініш сценарийлері
Photovoltaics: Аймақтық-балқыту центрлі полисиликон жоғары тиімді күн жасушаларында қолданылады, фотоэлектрлік түрлендірудің тиімділігі 26% -дан асады және жаңартылатын энергиядағы жүргізушілерге қол жеткізуде.
Инфрақызыл және детекторлық технологиялар: Ультра-жоғары тазалық германиясы миниатюриялық, жоғары сапалы инфрақызыл бейнелеу және әскери, қауіпсіздік және азаматтық нарыққа арналған түнгі көріністерге мүмкіндік береді23.
5. Қиындықтар мен болашақ бағыттар
Жасықты жою лимиттері: Ағымдағы әдістердің заманауи әдістері (мысалы, бор, фосфор), жаңа допинг процестерін немесе динамикалық ерітінділерді басқару технологиясын қажет ететіндер25.
Жабдықтың беріктігі және энергия тиімділігі: зерттеулер энергияны тұтынуды азайту және жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту үшін жоғары температуралы, коррозияға төзімді, айқышқа төзімді материалдар мен радиолдингтік жылу жүйелерін дамытуға бағытталған. Вакуумдық доғаны қайта өңдеу (VAR) технологиясы металлдан тазартуға уәде береді47.
Аймақтық балқыту технологиясы жоғары тазалыққа, төменгі шығынға, аз мөлшерден және кеңірек қолданысқа жетуге, жартылай өткізгіштердегі, жаңартылатын энергиядағы және оптоэлектрониканың негізі ретіндегін бекіту
POST TIME: MAR-26-2025