התפתחויות חדשות בטכנולוגיית התכה באזור

1.
‌ חומרים מבוססי סיליקון ‌: טוהר הגבישים היחידים של סיליקון עלה על ‌13n (99.99999999999%) ‌ בשיטת האזור הצף (FZ), תוך שיפור משמעותי של הביצועים של מכשירי מוליכים למחצה גבוה (EG, IGBTs) ו- Chips‌45 מתקדם. טכנולוגיה זו מפחיתה את זיהום החמצן בתהליך נטול כורס ומשלבת CVD של סילאן ושיטות סימנס שונה כדי להשיג ייצור יעיל של פוליסיליקון 47 בדרגה האזור.
‌Germanium חומרים: טיהור התכה של אזור אופטימיזציה העלה את טוהר הגרמניום ל- ‌13n‌, עם מקדמי חלוקת טומאה משופרים, מה שמאפשר יישומים באופטיקה אינפרא אדום וגלאי קרינה ‌23. עם זאת, אינטראקציות בין חומרי גרמניום מותך לחומרי ציוד בטמפרטורות גבוהות נותרו אתגר קריטי ‌23.
2.
Control Control פרמטר דינאמי: התאמות למהירות תנועת אזור ממיס, שיפועי טמפרטורה וסביבות גז מגן-משולבות עם ניטור בזמן אמת ומערכות משוב אוטומטיות-יש ליציבות של תהליכים משופרים ויכולת החזרה תוך צמצום אינטראקציות בין גרמניום/סיליקון וציוד ‌27.
Pollysilicon ייצור ‌: שיטות מדרגיות חדשות לפוליסיליקון מדרגה אזורית מתמודדים עם אתגרי בקרת תכולת חמצן בתהליכים מסורתיים, הפחתת צריכת האנרגיה והגברת התשואה 47.
3. ‌ שילוב טכנולוגיה ויישומים חוצה תחומי ‌
Hebridization התגבשות ‌: טכניקות התגבשות נמס בעלות אנרגיה נמוכה משולבות כדי לייעל את ההפרדה והטיהור של תרכובות אורגניות, ומרחיבות את יישומי ההיתוך של אזור בחומרי ביניים תרופתיים וכימיקלים עדינים 6.
‌ מוליכים למחצה-מוליכים למחצה: התכה באזור מיושמת כעת על חומרים רחבים-פס-פס כמו ‌silicon Carbide (SIC) ‌ ו- ‌gallium Nitride (GAN) ‌, התומכים במכשירים בתדר גבוה וטמפרטורה גבוהה. לדוגמה, טכנולוגיית תנור גביש יחיד שלב נוזלי מאפשרת גידול גביש SIC יציב באמצעות בקרת טמפרטורה מדויקת ‌15.
4. ‌ תרחישי יישום מגוונים
‌ PoTovoltaics‌: Polysilicon בדרגה של האזור משמש בתאים סולאריים בעלי יעילות גבוהה, השגת יעילות המרה פוטו-אלקטרונית ‌ מעבר 26%‌ והנהיגת התקדמות באנרגיה מתחדשת ‌4.
Technologies Technologies and Ganpered and Gane: גרמניום אולטרה-טוהר מאפשר מכשירי הדמיה אינפרא אדום ומכשירי ראיית לילה בעלי ביצועים גבוהים, לשווקים צבאיים, ביטחוניים ואזרחיים .23.
5. ‌Challenges וכיוונים עתידיים
Support Shutsion Shutsion ‌: שיטות נוכחיות נאבקות עם הסרת זיהומי אלמנט קל (למשל, בורון, זרחן), המחייבים תהליכי סמים חדשים או טכנולוגיות בקרת אזור נמס דינאמי ‌25.
‌ עמידות ציוד ויעילות אנרגטית ‌: המחקר מתמקד בפיתוח חומרים כור היתוך עמידים בפני טמפרטורה גבוהה, עמידים בפני קורוזיה, ומערכות חימום תדרים רדיו כדי להפחית את צריכת האנרגיה ולהאריך את תוחלת חיי הציוד. טכנולוגיית קשת ואקום מחדש (VAR) מציגה הבטחה לשכלול מתכת 47.
טכנולוגיית התכה של אזור מתקדמת לקראת טוהר גבוה יותר, עלות נמוכה יותר ויישום רחב יותר, וממצקת את תפקידה כאבן פינה במוליכים למחצה, אנרגיה מתחדשת ואופטואלקטרוניקס‌