Tellurium- ի մաքրման 7N գործընթացը համատեղում է գոտու զտում եւ ուղղորդված բյուրեղացման տեխնոլոգիաները: Հիմնական գործընթացների մանրամասներն ու պարամետրերը ներկայացված են ստորեւ.
1. Գոտի զտման գործընթաց
Սարքավորումների ձեւավորում
Բազմաշերտ օղակաձեւ գոտի հալման նավակներ. 300-500 մմ տրամագիծ, բարձրություն 50-80 մմ, պատրաստված բարձր մաքրության քվարցից կամ գրաֆիտից:
He եռուցման համակարգ. Կիսաեզրափակիչ դիմադրողական կծիկներ, ջերմաստիճանի հսկման ճշգրտությամբ ± 0,5 ° C եւ առավելագույն գործառնական ջերմաստիճան, 850 ° C:
Հիմնական պարամետրեր
Վակուում. ≤1 × 10⁻³ PA ամբողջ ընթացքում օքսիդացումը եւ աղտոտումը կանխելու համար:
Գոտու ճանապարհորդության արագություն. 2-5 մմ / ժամ (միակողմանի ռոտացիա սկավառակի լիսեռի միջոցով):
Temperature երմաստիճանի գրադիենտ. 725 ± 5 ° C Molten Zone Front- ում, որը սառեցվում է <500 ° C հետագծի եզրին:
Անցնում. 10-15 ցիկլ; Հեռացման արդյունավետություն> 99.9% `տարանջատման գործակիցների կեղտաջրերի համար <0.1 (օրինակ, CU, PB):
2-ը Ուղղորդված բյուրեղացման գործընթաց
Հալվել պատրաստում
Նյութը, 5n Tellurium մաքրված գոտու զտման միջոցով:
Հալման պայմաններ. Հալվել է INERT AR գազի տակ (≥99.999% մաքրություն) 500-520 ° C ջերմաստիճանում `օգտագործելով բարձր հաճախականության ինդուկցիայի ջեռուցում:
Հալեցման պաշտպանություն. Բարձր մաքրության գրաֆիտի ծածկը `վիճաբանումը ճնշելու համար. Հալած լողավազանի խորությունը պահպանվել է 80-120 մմ:
Բյուրեղացման վերահսկում
Աճի տեմպը `1-3 մմ / ժամ` ուղղահայաց ջերմաստիճանի գրադիենտ 30-50 ° C / սմ:
Սառեցման համակարգ. Հարկադիր ներքեւի սառեցման ջրի սառեցված պղնձի հիմքը. ճառագայթող սառեցում գագաթին:
Չորացման տարանջատում. FE, NI, եւ այլ կեղտաջրերը հարստանում են հացահատիկի սահմաններում 3-5 շարժման ցիկլերից հետո, նվազեցնելով կոնցենտրացիաները PPB մակարդակի վրա:
3. Որակի վերահսկման չափումներ
Պարամետր ստանդարտ արժեքի տեղեկանք
Վերջնական մաքրություն ≥99.99999% (7N)
Ընդհանուր մետաղական կեղտաջրեր ≤0.1 ppm
Թթվածնի պարունակություն ≤5 ppm
Բյուրեղյա կողմնորոշման շեղում ≤2 °
Դիմադրողականությունը (300 կ) 0.1-0.3 · սմ
Գործընթացի առավելություններ
Կապատվերականություն. Բազմաշերտ օղակաձեւ գոտի հալեցման նավակներ մեծացնում է խմբաքանակի հզորությունը 3-5 ×, համեմատած սովորական ձեւավորման հետ:
Արդյունավետություն. Ise շգրիտ վակուումային եւ ջերմային հսկողությունը հնարավորություն է տալիս բարձր մաքրության հեռացման բարձր տեմպեր:
Բյուրեղապակի որակը. Ուլտրա-դանդաղ աճի տեմպերը (<3 մմ / ժամ) ապահովում են ցածր տեղահանման խտությունը եւ մեկ բյուրեղային ամբողջականությունը:
Այս զտված 7n Tellurium- ը կրիտիկական է առաջադեմ դիմումների համար, ներառյալ ինֆրակարմիր դետեկտորները, CDTE բարակ կինոնկարը արեւային բջիջները եւ կիսահաղորդչային ենթաբաժինները:
Հղումներ.
Նշում են փորձարարական տվյալները, ավելի վերանայված ուսումնասիրություններից `Tellurium մաքրման վերաբերյալ:
Փոստի ժամը: Mar-24-2025