A 7N Tellurium tisztítási folyamat kombinálja az Zone finomítást és a „Kirekciós kristályosodást” technológiákat. Az alábbiakban ismertetjük a legfontosabb folyamat részleteit és paramétereit:
1. Zóna finomítási folyamatának
Equalipment Design
Multi-Rayer gyűrűs zóna olvadó csónakok: Átmérő 300–500 mm, magasság 50–80 mm, nagy tisztaságú kvarcból vagy grafitból készült.
Heating System: Félkör alakú ellenálló tekercsek ± 0,5 ° C hőmérséklet-szabályozási pontossággal és maximális működési hőmérséklete 850 ° C.
Key Paraméterek
Vacuum: ≤1 × 10⁻3 Pa Az oxidáció és a szennyeződés megelőzése érdekében.
Zone utazási sebesség: 2–5 mm/h (egyirányú forgás hajtótengelyen keresztül).
hőmérséklet -gradiens: 725 ± 5 ° C az olvadt zóna elülső részén, a hátsó élnél <500 ° C -ra hűtve.
Passes: 10–15 ciklus; Az eltávolítási hatékonyság> 99,9% a szennyeződések esetében, a szegregációs együtthatókkal <0,1 (pl. Cu, PB).
2. Irányított kristályosodási folyamat
Melt előkészítés
Material: 5n Tellurium zóna finomítás útján tisztítva.
Összeállási körülmények: Inert AR-gáz alatt (≥ 99,999% tisztaság) 500–520 ° C-on megolvasztva nagyfrekvenciás indukciós fűtéssel.
Melt Protection: Nagy-tisztaságú grafit burkolat az illékonyodás elnyomására; Az olvadt medence mélységét 80–120 mm -en tartják.
Crystalization Control
Growth sebesség: 1–3 mm/h, függőleges hőmérsékleti gradiens 30–50 ° C/cm.
Hűtési rendszer: Vízhűtéses réz alap a kényszerített alsó hűtéshez; sugárzó hűtés a tetején.
A hatalom szegregációja: A Fe, Ni és más szennyeződések a gabonameghatárokon 3–5 remegési ciklus után gazdagodnak, és a koncentrációkat a PPB szintre csökkentik.
3. Minőség -ellenőrzési mutatók
Paraméter standard érték -referencia
Végső tisztaság ≥99.9999% (7N)
Az összes fém szennyeződés ≤0,1 ppm
Oxigéntartalom ≤5 ppm
Kristályorientációs eltérés ≤2 °
Ellenállás (300 K) 0,1–0,3 Ω · cm
A folyamat előnyei
Scalability: A többrétegű gyűrűs zóna olvadó csónakok 3–5-szer növelik a kötegelt kapacitást a hagyományos mintákhoz képest.
Efficid: A pontos vákuum és a hőszabályozás lehetővé teszi a magas szennyeződés eltávolítási sebességét.
Crystal minőség: ultra-lassú növekedési ütemek (<3 mm/h) biztosítják az alacsony diszlokációs sűrűség és az egykristály integritását.
Ez a kifinomult 7N tellurium kritikus jelentőségű a fejlett alkalmazásokhoz, ideértve az infravörös detektorokat, a CDTE vékonyréteg-napelemeket és a félvezető szubsztrátokat.
REFERENCIÁCIÓK:
Jelölje meg a tellurium tisztításáról szóló, egymással áttekintett tanulmányok kísérleti adatait.
A postai idő: március-24-2025