Η διαδικασία καθαρισμού 7N Tellurium συνδυάζει τις τεχνολογίες recining zone Zone και Directional crystallization. Τα βασικά στοιχεία και οι παράμετροι της διαδικασίας περιγράφονται παρακάτω:
1. Διαδικασία διύλισης ζώνης
Σχεδιασμός εξοπλισμού
Multi-στρώμα δακτυλιοειδών ζώνης ζώνης: Διάμετρος 300-500 mm, ύψος 50-80 mm, κατασκευασμένο από χαλαζία υψηλής καθαρότητας ή γραφίτη.
ΣΥΣΤΗΜΑ ΘΕΡΜΑΝΤΙΚΗΣ ΣΥΣΤΗΜΑΤΟΣ: ημικυκλιακά πηνία αντίστασης με ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας ± 0,5 ° C και μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας 850 ° C.
Παράμετροι
VACUUM: ≤1 × 10⁻³ PA καθ 'όλη τη διάρκεια για την πρόληψη της οξείδωσης και της μόλυνσης.
Zone Ταξινόμηση ταξιδιού: 2-5 mm/h (μονόπλευρη περιστροφή μέσω άξονα κίνησης).
ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς ς
Passes: 10-15 κύκλοι. Απόδοση απομάκρυνσης> 99,9% για ακαθαρσίες με συντελεστές διαχωρισμού <0,1 (π.χ., Cu, Pb).
2. Διαδικασία κρυστάλλωσης κατεύθυνσης
Melt προετοιμασία
Material: 5n Tellurium καθαρισμένο μέσω διύλισης ζώνης.
Οι συνθήκες μίσθωσης: λιωμένο υπό αδρανή αέριο AR (≥99,999% καθαρότητα) στους 500-520 ° C χρησιμοποιώντας θέρμανση επαγωγής υψηλής συχνότητας.
Melt Protection: κάλυμμα γραφίτη υψηλής καθαρότητας για την καταστολή της πτητικοποίησης. Το βάθος της λιωμένης πισίνας διατηρήθηκε στα 80-120 mm.
Crrystallization Control
Grate -rate : 1-3 mm/h με κατακόρυφη κλίση θερμοκρασίας 30-50 ° C/cm.
ΣΥΣΤΗΜΑΤΟΣ ΣΥΣΤΗΜΑΤΟΣ: Βάση χαλκού με νερό για αναγκαστική ψύξη. ακτινοβολία ψύξης στην κορυφή.
Διαχωρισμός: FE, NI και άλλες ακαθαρσίες εμπλουτίζονται στα όρια των κόκκων μετά από 3-5 αναδημιουργούς κύκλους, μειώνοντας τις συγκεντρώσεις σε επίπεδα PPB.
3. Μετρήσεις ελέγχου ποιότητας
Παράμετρος Τυπική αναφορά τιμής
Τελική καθαρότητα ≥99,99999% (7n)
Συνολικές μεταλλικές ακαθαρσίες ≤0,1 ppm
Περιεχόμενο οξυγόνου ≤5 ppm
Απόκλιση προσανατολισμού κρυστάλλου ≤2 °
Αντίσταση (300 k) 0.1-0.3 Ω · cm
-process Πλεονεκτήματα
Calability : Τα σκάφη τήξης δακτυλιοειδούς ζώνης πολλαπλών στρώσεων αυξάνουν την χωρητικότητα των παρτίδων κατά 3-5 × σε σύγκριση με τα συμβατικά σχέδια.
Efficiency : Το ακριβές κενό και ο θερμικός έλεγχος επιτρέπουν τα υψηλά ποσοστά απομάκρυνσης ακαθαρσιών.
Crystal Quality : Οι ρυθμοί ανάπτυξης εξαιρετικά χαμηλής αύξησης (<3 mm/h) εξασφαλίζουν χαμηλή πυκνότητα εξάρθρωσης και ακεραιότητα μονής κρυστάλλου.
Αυτό το εκλεπτυσμένο 7N Tellurium είναι κρίσιμο για προηγμένες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένων των ανιχνευτών υπέρυθρων, των ηλιακών κυττάρων CDTE λεπτών ταινιών και των υποστρωμάτων ημιαγωγών.
References:
υποδηλώνουν πειραματικά δεδομένα από μελέτες αξιολογημένες από ομοτίμους σχετικά με τον καθαρισμό Tellurium.
Χρόνος δημοσίευσης: Μαρ-24-2025