7n tellurium təmizləyici proses zonanın təmizlənməsi və istiqamətli kristallaşma texnologiyalarını birləşdirir. Əsas proses təfərrüatları və parametrləri aşağıda göstərilmişdir:
1. Zona emal prosesi
Avadanlıq dizaynı
Çox qatlı illik zona ərimə qayıqları: diametri 300-500 mm, yüksək pusterlik kvars və ya qrafitdən hazırlanmış 50-80 mm hündürlüyü.
İstilik sistemi: ± 0,5 ° C-nin temperaturuna nəzarət dəqiqliyi olan yarım dairəvi rezistiv rulonlar və maksimum əməliyyat temperaturu 850 ° C-dir.
Əsas parametrlər
Vakuum: ≤1 × 10⁻³ pa oksidləşmə və çirklənmənin qarşısını almaq üçün.
Zona səyahət sürəti: 2-5 mm / saat (sürücü şaftı vasitəsilə bir yönlü fırlanma).
Temperatur gradient: 725 × 5 ° C Dünyanın qarşısında, cəbhəyə qədər <500 ° C-ə qədər <500 ° C-ə qədər soyutma.
Keçir: 10-15 dövr; Silinmə əmanətləri üçün sökülmə effektivliyi> 99,9% -i bölmə əmsalları olan çirklər üçün <0.1 (məsələn, CU, PB).
2. İstiqamətli kristallaşma prosesi
Ərinti hazırlamaq
Material: 5n Tellurium Zone emalı ilə təmizlənmişdir.
Ərimə şəraiti: Yüksək tezlikli induksiya istiləşməsindən istifadə edərək 500-520 ° C-də İnert AR qazının (≥99.999% saflıq) altında ərindirilmişdir.
Melt qorunması: Vitilizasiyanı yatırmaq üçün yüksək təmizlik qrafit örtüyü; MoLten hovuz dərinliyi 80-120 mm-də saxlanılır.
Kristallaşdırma nəzarəti
Böyümə sürəti: 30-50 ° C / sm olan şaquli bir temperatur gradient ilə 1-3 mm / saat.
Soyutma sistemi: məcburi alt soyutma üçün su ilə soyudulmuş mis bazası; Yuxarıda radiativ soyutma.
Çirklərin ayrılması: Fe, Ni və digər çirklər 3-5 revelting dövründən sonra taxıl sərhədlərində zənginləşdirilir, konsentrasiyanı PPB səviyyəsinə endirir.
3. Keyfiyyətə nəzarət ölçümləri
Parametr standart dəyər arayışı
Son təmizlik ≥99.99999% (7n)
Ümumi metal çirklər ≤0,1 ppm
Oksigen tərkibi ≤5 ppm
Kristal İstiqamət sapması ≤2 °
Müqavimət (300 k) 0,1-0.3 ω · sm
Proses üstünlükləri
Ölçülük: Çox qatlı illik zonası ərimə qayıqları, adi dizaynlarla müqayisədə toplama qabiliyyətini 3-5 × artırır.
Səmərəlilik: Dəqiq vakuum və istilik nəzarəti yüksək çirkli çıxarılması nisbətlərini təmin edir.
Kristal keyfiyyəti: ultra yavaş böyümə nisbətləri (<3 mm / saat) aşağı dislokasiya sıxlığı və tək kristal bütövlüyünü təmin edir.
Bu təmizlənmiş 7n tellurium, infraqırmızı detektorlar, CDTe incə film günəş hüceyrələri və yarımkeçirici substratlar da daxil olmaqla inkişaf etmiş tətbiqlər üçün vacibdir.
İstinadlar:
Tellurium təmizlənməsində nəzərdən keçirilmiş araşdırmalardan eksperimental məlumatları bildirin.
Time vaxt: 24-2025